논문제목 :  Flexible metal-oxide devices made by room temperature photochemical activation of sol?gel films

 

doi:10.1038/nature11434

 

Flexible device에서 비교적 낮은 공정온도는 매우 중요한부분중 하나인데 

thermal annealing이 아닌  deep UV를 이용하여 thermal annealing을 대체하여 새로운 공정방법을 제시하는 논문입니다.